Mô phỏng cảm biến sóng âm bề mặt đo từ trường sử dụng mô hình ma trận truyền kết hợp với mô phỏng FEM

Tóm tắt

Nghiên cứu này đề xuất mô hình ma trận truyền [ABCD] cho lớp nhạy từ FeNi dùng trong cảm biến từ dạng sóng âm bề mặt (SAW-MO). Tần số trung tâm và kích thích tín hiệu đo đến đầu vào cho cảm biến thông qua đặc tính v_m-H được xác định bằng phương pháp mô phỏng phần tử hữu hạn (FEM) trên cấu trúc FeNi/IDT/ST-Quartz. Kết quả mô phỏng tần số trung tâm và đáp ứng làm việc của cảm biến cho thấy, mô phỏng theo phương pháp FEM và mô phỏng theo phương pháp ma trận truyền (TM) là có sự tương quan. Vì vậy, mô hình ma trận truyền [ABCD] đã để xuất cho lớp nhạy từ FeNi là đúng đắn và phù hợp. Bên cạnh đó, khảo sát cũng chỉ ra sự hợp lý và phù hợp hơn của đường đặc tính v_m-H bậc ba so với đặc tính bậc hai trong mô hình ma trận truyền của lớp nhạy từ FeNi. Độ chính xác và sự phù hợp được thể hiện thông qua xu thế và hình dáng trên đáp ứng làm việc của cảm biến.